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注：EG-600已停產(chǎn)，現(xiàn)型號(hào)為EG-610

    EG-610型OZONE MONITORS（以下稱(chēng)為顯示器）是配備微處理器的嵌入式顯示器。它們已經(jīng)發(fā)展為用于控制半導(dǎo)體制造過(guò)程中的臭氧濃度以及用于控制在同一過(guò)程中使用的高濃度臭氧發(fā)生器的傳感器。它由主體（控制單元）和檢測(cè)器單元組成，僅通過(guò)將管道連接到檢測(cè)器單元的兩端即可連續(xù)測(cè)量臭氧濃度。使用此監(jiān)視器，可以使用外部信號(hào)或前面板上的開(kāi)關(guān)輕松執(zhí)行零位校準(zhǔn)。除零氣體吸入（采樣氣體吹掃）計(jì)時(shí)器外，還有另一個(gè)內(nèi)置的時(shí)間間隔計(jì)時(shí)器，可以以任意設(shè)置的時(shí)間間隔定期執(zhí)行零校準(zhǔn)。即使在關(guān)閉電源時(shí)，也會(huì)存儲(chǔ)此時(shí)獲得的零校準(zhǔn)值，并在下次打開(kāi)電源時(shí)應(yīng)用 很后的零校準(zhǔn)值。自診斷功能監(jiān)視并顯示監(jiān)視器內(nèi)部的異常。由于此監(jiān)視器在檢測(cè)器單元內(nèi)部具有內(nèi)置溫度傳感器，因此可以執(zhí)行氣體溫度補(bǔ)償。類(lèi)似地，由于壓力傳感器內(nèi)置在檢測(cè)器單元中，因此氣壓可以自動(dòng)補(bǔ)償為大氣壓。通過(guò)使用可選的串行端口，您可以通過(guò)與主機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)通信來(lái)獲取更準(zhǔn)確的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。